刘玉岭

刘玉岭  男 ，1942出生，河北省衡水市人，毕业于南开大学。教授、博士生导师。现任河北工业大学微电子所所长、天津市泣田高科技发展中心总经理。第九届全国政协委员。河北省十大发明家、河北省省管优秀专家、国家级有突出贡献的中青年专家、“河北省发明创新实验教育研究”专家、全国高校科技先进工作者、天津市科技先进工作者、天津市劳动模范、享受政府特殊津贴。 www.18art.com

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近二十多年来，在高频微波大功率晶体管和大规模、超大规模集成电路的基础材料的制备、加工、检测以及外延材料性能与结构优化等，如IC硅单晶衬底材料料抛光与检测新技术及清洗材料；硅外延材料制备新技术；硅/硅材料键合新技术；硅单晶片新型抛光材料；IC衬底材料有害金属杂质与二次缺陷控制新技术及半导体材料在器件制备中的性能变化、昌闸管的造型优化与玻璃钝化、分立器件与大规模集成电路制备技术优化等多种多种更新换代、技术创新方面取得多项重大发明成果。其中FNO—MOS型抛光液，1982年获国家发明四等奖；硅外延BC技术，1987年获国家发明三等奖；硅 器件衬底滑移线消除技术，1990年获国家发明四等奖；FA/O无磨料均腐蚀抛光液，1990年获国家发明三等奖。获国家专利两项；国内外发明展奖九项；省部级科技进步奖十七项；国内外发表技术论文六十多篇。其成果取代了国内外先进产品与技术，实现了更新换代，超过了国内外同类技术与产品，效益近亿元。FA/O抛光液代替了美、日进口的产品，并已开始打入国际市场。另外，正在与台湾地区微邦科技公司研制ULSI多层布线SiO2介质CMP科研项目取得了技术新突破。他培养的学生有多人已成为科研、教学及管理高级优秀人才。与此同时编写了的《实用发明创造工程学》、《压力传感器设计制造与应用》等是具有特色的高校教材。 #$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$%